PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
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1120 °C で稼働する 7 ゾーン メッシュ ベルト炉では、ベルト全体で ±3 °C を維持できますが、硬度が一貫していない部品を出荷することができます。これは、ベルト速度が上昇した後に脱潤滑ゾーンの露点が変動したためです。これが粉末冶金の性質です。炉は高温になる箱ではなく、コンベアが取り付けられた化学反応器です。 簡単に言うと、粉末冶金炉は、保持する必要があるプロセス ウィンドウ (脱潤滑プロファイル、雰囲気品質、焼結温度、冷却速度) に基づいて選択し、次にチャンバー サイズまたは発熱体のタイプに基づいて選択します。 200 mm が短すぎる炉は不便です。雰囲気制御が 1 ゾーン短い炉はスクラップ生成装置です。 先に結論を言うと 脱潤滑、焼結、冷却は 3 つの別個のプロセスであり、独立した制御が必要です。 鉄ベースの構造部品の場合、負荷全体にわたる ±5 °C の均一性が実用的な基準であり、特別なオプションではありません。 耐火物ライニングは、シェルを通ってどの...
