PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
最新ニュース
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の紹介 真空熱処理 真空熱処理は、工業用部品の機械的特性と耐久性を向上させるために使用される高度な冶金プロセスです。真空環境で材料を加熱することにより、酸化や汚染が最小限に抑えられ、正確で一貫した材料性能が得られます。この技術は、航空宇宙、自動車、工具製造、エレクトロニクスなどの業界で広く応用されています。 材料の強度と硬度の向上 真空熱処理の主な利点の 1 つは、材料の強度と硬度を大幅に向上できることです。制御された環境により、均一な加熱と冷却が可能になり、残留応力が軽減され、コンポーネントの構造的完全性が向上します。 均一な硬化: コンポーネントは全体にわたって一貫した硬度を達成し、従来の熱処理でよく見られる弱点を回避します。 耐疲労性の向上: 真空処理された金属は繰り返しの応力サイクルに耐えることができ、工業用部品の耐用年数を延ばします。 耐摩耗性の強化: 高摩擦または摩耗条件にさらされたコンポーネントは、その性能をより長く維持します。 精密制御: 正確な温度と真空制御により、敏感な部品の...
