PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
最新ニュース
-
工業用電気炉が高温処理を再定義する理由 現代の製造において、正確な熱制御は贅沢品ではなく、プロセス要件です。工業用電気炉は、冶金、セラミックス、航空宇宙、先端材料生産における高温作業のバックボーンとなっています。燃料ベースの代替炉とは異なり、電気炉は大気汚染を最小限に抑えながら再現可能でプログラム可能な熱プロファイルを提供するため、厳しい公差が要求されるプロセスには不可欠です。 今日の特徴は何ですか 工業用電気炉 古い世代からの特徴は、デジタル制御システムの統合です。 PID コントローラ、サイリスタ電力調整、リアルタイム データ ロギングにより、オペレータは特定の温度曲線を定義して保持できます。これは、狭い処理ウィンドウの外で劣化する合金や複合材料を扱う場合に重要です。チャンバー温度は、炭化ケイ素、二ケイ化モリブデン、タングステンなどの発熱体の材質に応じて、通常 1,000°C ～ 1,800°C に達します。 電動化への移行は、規制の圧力によっても推進されています。 EU および北米全体で産業用 CO₂ 目標が強...
