PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
最新ニュース
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炉がありえない温度に達したために炉のライニングが故障することはほとんどありません。通常、熱、化学、負荷、熱サイクルの間違った組み合わせに対して耐火材料が選択されたために失敗します。症状はよく知られています。高温になった顔面の剥離、開いた関節、腐食したアンカー、そして何ヶ月も静かにガスや電気を消費する砲弾です。 短い答え: 炉の耐火材料は、第一に故障モード、第二に温度、そして第三に価格によって選択してください。セラミックファイバーと軽量断熱耐火レンガが熱損失と熱質量をカットします。緻密な耐火レンガとキャスタブルは、摩耗、スラグ、機械的負荷に耐えます。最高の裏地とは、密度が最も高いものでも、最も安価なものでもありません。それは実際のサイクルを生き残るものです。 炉のサイクルが速い場合は、最高温度よりも耐熱衝撃性が重要になります。溶融金属またはスラグを保持すると、耐薬品性と耐侵食性が最高になります。継続的に稼働する場合、熱損失とライニングの寿命が投資収益率を左右します。そのロジックは実践でも見られます セラ...
