PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
最新ニュース
-
の基本構造 真空炉 真空炉は、制御された低圧条件下で動作するように設計されたいくつかの統合システムで構成されています。コア構造には、真空チャンバー、加熱システム、断熱アセンブリ、真空ポンプ ユニット、および制御システムが含まれます。各成分は、熱処理中に安定した熱環境と大気環境を維持する上で特定の役割を果たします。 真空チャンバーは通常、ステンレス鋼または炭素鋼で製造され、高温と外部大気圧の両方に耐えるように設計されています。チャンバー内には、作業領域全体に均一な温度分布を実現するために、断熱材と発熱体が配置されています。 主要コンポーネントとその機能 真空システムとポンプユニット 真空システムは、加熱が始まる前に炉室から空気と残留ガスを除去します。このシステムは通常、順番に動作する機械式ポンプ、ブースター ポンプ、高真空ポンプで構成されます。効果的な排気により、熱処理中の酸化と汚染を最小限に抑えます。 発熱体と断熱材 発熱体は、動作温度と用途の要件に応じて、グラファイト、モリブデン、またはタングステンから構築されます。...
