PECVD管状炉
PECVD 管状炉は、石英反応チャンバー、高周波電源、マルチチャンネル ガス混合システム、真空ユニット、および反応制御システムで構成されるプラズマ気相堆積管状炉システムです。炉は高純度アルミナ繊維材料を使用し、表面は輸入高温アルミナコーティングでコーティングされており、機器の耐用年数を延ばし、加熱効率を向上させます。従来の化学蒸着の前に高周波誘導装置が設置され、反応ガスをイオン化してプラズマを生成します。プラズマの高い活性により反応が促進されます。均一性と再現性が良く、大面積に成膜可能、低温での成膜が可能、段差被覆性に優れ、膜の組成や膜厚の制御が容易で工業化が容易です。グラフェン、一酸化ケイ素、窒化ケイ素、酸窒化ケイ素、アモルファスシリコン(A-SI:H)などの薄膜の成長に広く使用されています。
製品情報
| 炉管サイズ(MM) | 動作温度(℃) | 真空度 | 電力(KW) | 電圧 | 発熱体 | 加熱速度 |
| Φ60*2200 | 1100℃ | -0.1MPA 10PA 6.67*10-4PA | 3 | 220/380V | 抵抗線 | 1～20℃/分 |
| Φ80*2200 | 3 | |||||
| Φ100*2200 | 4 | |||||
| Φ120*2200 | 5 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD管状炉 メーカー および PECVD管状炉 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD管状炉 カスタム.
最新ニュース
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管状炉は何十年にもわたって高温処理のバックボーンであり続けていますが、適切に仕様が定められたユニットと不十分に適合したユニットとの間のギャップが、一貫した結果とコストのかかる失敗の違いを意味する可能性があります。高度なセラミックの焼結、CVD 実験の実施、または制御された雰囲気下での合金の加工のいずれを行う場合でも、購入を決定する前に、有能な高温管状炉と単に高温になる管状炉の違いを理解することが不可欠です。 高温管状炉の仕組み 管状炉は、炉室の中心にある円筒形の作業管内に置かれた材料を加熱します。チューブを囲む発熱体 (通常は抵抗線、炭化ケイ素 (SiC)、または二ケイ化モリブデン (MoSi₂)) が内部に熱を放射して伝導し、チューブとその内容物を目標温度まで上昇させます。 円筒形状は偶然ではありません。加熱された長さに沿って非常に均一な熱環境を作り出し、プロセスの一貫性を損なう温度勾配を最小限に抑えます。熱はチューブの円周に沿って対称的に加えられ、最新のマルチゾーン設計は、個別の加熱セグメントを独立して制御することで...
