PECVD炉システム
この製品は中型のスライドオープン PECVD システムです。この PECVD 管状炉システムには、プラズマ RF 電源、三方向質量流量ガス混合システム (範囲 1 ～ 100 SCCM、1 ～ 200 SCCM、および 1 ～ 200 SCCM)、直径 60 mm の開放管状炉 (真空フランジおよび接続配管付き)、および機械ポンプが装備されています。
製品情報
| 製品型式 | スライド式PECVD管状炉システム—OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| 主な製品パラメータ | 電源: 220V 50/60Hz;定格電力: 3.1 kW。最大動作温度: 1200°C (<0.5 時間)。連続動作温度: ≤1100°C;推奨加熱速度: ≤10°C/分。加熱ゾーンの長さ: 440mm;熱電対：Kタイプ |
| 主な特長 | RF 電源はプラズマの増強を実現し、実験温度を大幅に下げることができます。炉本体をスライドさせることにより、急速な温度の上昇と下降を実現できます。膜の応力はRF電源の周波数によって制御できます。化学量論はプロセス調整によって制御できます。 SiOx、SiNx、SiOxNy、(a-Si:H)などの様々な材料を堆積可能 |
| 発熱体 | 鉄クロムアルミニウム合金線 0Cr21Al6Nb |
| 炉管サイズ | 石英管径オプション：Φ60 |
| 温度制御システム | YD858温度コントローラーが含まれています。 PID 制御およびセルフチューニング調整、インテリジェントな 50 セグメントのプログラマブル制御、過熱およびバーンアウトアラーム機能付き。温度制御精度：±1℃ |
| プラズマRF電源 | 300W RF電源;出力電力: 0~300W 調整可能; RF周波数：13.56MHZ;自動マッチング;騒音レベル < 50dB;冷却方式：空冷。入力電圧: 180~250V |
| 真空シールフランジインターフェース | 標準構成: ステンレス鋼真空フランジと高温シリコン シール リングのペア。出口フランジは3ポートフランジK16、KF25、Φ8.2です。出口フランジはベローズを使用して KF25 アダプターに接続し、その後真空ポンプに接続できます。 |
| 真空ポンプ | ダブルロータリーベーンメカニカル真空ポンプ TRP-12 を採用。真空度は10-2torrに達する可能性があります。真空接続アクセサリには、管状炉と真空ポンプを接続するための KF25 クランプとステンレス鋼ベローズが装備されています |
| ガス供給システム | 三方マスフロー混合システム - GYS-3Z;電源: 220V 50/60Hz;測定範囲: 1-100 SCCM、1-200 SCCM、1-500 SCCM;機械式圧力計はフロントパネルに取り付けられており、混合パイプに接続されています。圧力計範囲: -0.1-0.15MPa;混合タンクサイズ: Φ80*120mm;内部接続パイプはΦ6.35 |
| 炉の構造 | 炉本体は左右に可動し、RF電源も左右に可動します。炉本体とRF電源は同じスライドレール上に設置されており、同じ石英管を使用しています。 |
| 認証基準とコアコンポーネント | 機械全体のコアコンポーネントは、CE、UL、MET、およびその他の認証規格に準拠しています。コアコンポーネントには、ABB 電気コンポーネント、UL 認定ワイヤおよびケーブル、Omega、Yudian、Continental 計器などが含まれます。 |
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浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD炉システム メーカー および PECVD炉システム 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD炉システム カスタム.
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の紹介 真空熱処理 真空熱処理は、工業用部品の機械的特性と耐久性を向上させるために使用される高度な冶金プロセスです。真空環境で材料を加熱することにより、酸化や汚染が最小限に抑えられ、正確で一貫した材料性能が得られます。この技術は、航空宇宙、自動車、工具製造、エレクトロニクスなどの業界で広く応用されています。 材料の強度と硬度の向上 真空熱処理の主な利点の 1 つは、材料の強度と硬度を大幅に向上できることです。制御された環境により、均一な加熱と冷却が可能になり、残留応力が軽減され、コンポーネントの構造的完全性が向上します。 均一な硬化: コンポーネントは全体にわたって一貫した硬度を達成し、従来の熱処理でよく見られる弱点を回避します。 耐疲労性の向上: 真空処理された金属は繰り返しの応力サイクルに耐えることができ、工業用部品の耐用年数を延ばします。 耐摩耗性の強化: 高摩擦または摩耗条件にさらされたコンポーネントは、その性能をより長く維持します。 精密制御: 正確な温度と真空制御により、敏感な部品の...
