PECVD炉システム
この製品は中型のスライドオープン PECVD システムです。この PECVD 管状炉システムには、プラズマ RF 電源、三方向質量流量ガス混合システム (範囲 1 ～ 100 SCCM、1 ～ 200 SCCM、および 1 ～ 200 SCCM)、直径 60 mm の開放管状炉 (真空フランジおよび接続配管付き)、および機械ポンプが装備されています。
製品情報
| 製品型式 | スライド式PECVD管状炉システム—OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| 主な製品パラメータ | 電源: 220V 50/60Hz;定格電力: 3.1 kW。最大動作温度: 1200°C (<0.5 時間)。連続動作温度: ≤1100°C;推奨加熱速度: ≤10°C/分。加熱ゾーンの長さ: 440mm;熱電対：Kタイプ |
| 主な特長 | RF 電源はプラズマの増強を実現し、実験温度を大幅に下げることができます。炉本体をスライドさせることにより、急速な温度の上昇と下降を実現できます。膜の応力はRF電源の周波数によって制御できます。化学量論はプロセス調整によって制御できます。 SiOx、SiNx、SiOxNy、(a-Si:H)などの様々な材料を堆積可能 |
| 発熱体 | 鉄クロムアルミニウム合金線 0Cr21Al6Nb |
| 炉管サイズ | 石英管径オプション：Φ60 |
| 温度制御システム | YD858温度コントローラーが含まれています。 PID 制御およびセルフチューニング調整、インテリジェントな 50 セグメントのプログラマブル制御、過熱およびバーンアウトアラーム機能付き。温度制御精度：±1℃ |
| プラズマRF電源 | 300W RF電源;出力電力: 0~300W 調整可能; RF周波数：13.56MHZ;自動マッチング;騒音レベル < 50dB;冷却方式：空冷。入力電圧: 180~250V |
| 真空シールフランジインターフェース | 標準構成: ステンレス鋼真空フランジと高温シリコン シール リングのペア。出口フランジは3ポートフランジK16、KF25、Φ8.2です。出口フランジはベローズを使用して KF25 アダプターに接続し、その後真空ポンプに接続できます。 |
| 真空ポンプ | ダブルロータリーベーンメカニカル真空ポンプ TRP-12 を採用。真空度は10-2torrに達する可能性があります。真空接続アクセサリには、管状炉と真空ポンプを接続するための KF25 クランプとステンレス鋼ベローズが装備されています |
| ガス供給システム | 三方マスフロー混合システム - GYS-3Z;電源: 220V 50/60Hz;測定範囲: 1-100 SCCM、1-200 SCCM、1-500 SCCM;機械式圧力計はフロントパネルに取り付けられており、混合パイプに接続されています。圧力計範囲: -0.1-0.15MPa;混合タンクサイズ: Φ80*120mm;内部接続パイプはΦ6.35 |
| 炉の構造 | 炉本体は左右に可動し、RF電源も左右に可動します。炉本体とRF電源は同じスライドレール上に設置されており、同じ石英管を使用しています。 |
| 認証基準とコアコンポーネント | 機械全体のコアコンポーネントは、CE、UL、MET、およびその他の認証規格に準拠しています。コアコンポーネントには、ABB 電気コンポーネント、UL 認定ワイヤおよびケーブル、Omega、Yudian、Continental 計器などが含まれます。 |
お問い合わせ
浙江能成クリスタルファイバー有限公司
浙江能成クリスタルファイバー有限公司 2015年に設立されました。超軽量省エネ高温材料の開発・製造、実験用電気炉、工業用電気炉、非標準特注電気炉の販売を行う専門企業です。専門 PECVD炉システム メーカー および PECVD炉システム 工場です。当社は「品質による生存、信用による発展」を原則とし、「実用性、誠実さ、効率性」を経営理念としています。セラミックス、冶金、エレクトロニクス、ガラス、化学工学などの業界のお客様に、包括的で高品質な設備ソリューションを提供することに尽力しています。また、大学、研究機関、鉱工業企業向けに、粉末焼成、セラミック焼結、高温実験などのサービスも提供しています。同時に、新炉分野における能成の軽量・省エネ・環境に優しい高温アルミナ繊維の戦略的発展を推進し、国際的にリードする先進的な高温設備産業サービスプロバイダーとなることを目指しています。 PECVD炉システム カスタム.
最新ニュース
-
1120 °C で稼働する 7 ゾーン メッシュ ベルト炉では、ベルト全体で ±3 °C を維持できますが、硬度が一貫していない部品を出荷することができます。これは、ベルト速度が上昇した後に脱潤滑ゾーンの露点が変動したためです。これが粉末冶金の性質です。炉は高温になる箱ではなく、コンベアが取り付けられた化学反応器です。 簡単に言うと、粉末冶金炉は、保持する必要があるプロセス ウィンドウ (脱潤滑プロファイル、雰囲気品質、焼結温度、冷却速度) に基づいて選択し、次にチャンバー サイズまたは発熱体のタイプに基づいて選択します。 200 mm が短すぎる炉は不便です。雰囲気制御が 1 ゾーン短い炉はスクラップ生成装置です。 先に結論を言うと 脱潤滑、焼結、冷却は 3 つの別個のプロセスであり、独立した制御が必要です。 鉄ベースの構造部品の場合、負荷全体にわたる ±5 °C の均一性が実用的な基準であり、特別なオプションではありません。 耐火物ライニングは、シェルを通ってどの...
